本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要。

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。

4、采用K型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫。

5、PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

6、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz   1.2KW

2、石英管：外徑?25mm，內(nèi)徑?20mm，長(zhǎng)450mm

外徑?50mm，內(nèi)徑?44mm，長(zhǎng)450mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域：200mm

5、工作溫度：最高1200℃，連續(xù)工作1100℃

6、最大升降溫速率：20℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：300mm×340mm×1000mm；重量：20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

氧化鋁管堵

4個(gè)

3

不銹鋼法蘭

2個(gè)

4

高溫手套

1雙

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

3、KF25轉(zhuǎn)接頭

4、卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動(dòng)爐架